Книга Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник для СПО

- Серия: Профессиональное образование
- Жанр: Учебная литература, Радиотехника
- Год издания: 2025
- ISBN: 9785534197860
- Издательство: ЮРАЙТ
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) – электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.