Книга Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для СПО

- Серия: Профессиональное образование
- Жанр: Учебная литература, Радиотехника
- Год издания: 2025
- ISBN: 9785534197709
- Издательство: ЮРАЙТ
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.