Книга Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus

- Жанр: Учебники и пособия для вузов, Проектирование
- Год издания: 2015
- ISBN: 978-5-7038-4177-8
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».