Книга Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды

- Жанр: Учебно-методические пособия
- ISBN: 978-5-7038-4675-9
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования – средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н.Э. Баумана.