Книга Технология интегральных микросхем

- Жанр: Учебники и пособия для вузов, Физика, Электроника
- Год издания: 2023
- ISBN: 978-5-9729-1232-2
- Издательство: Инфра-Инженерия
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».