Книга Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем

- Жанр: Учебники и пособия для вузов, Электроника
- Год издания: 2022
- ISBN: 978-5-7638-4575-4
- Издательство: Сибирский федеральный университет
Рассмотрены принципы работы компонентов радиочастотных микроэлектромеханических систем и описаны примеры использования современных технологий их моделирования с использованием программного комплекса ANSYS. Предназначено по кодификатору ФГОС ВО для направлений подготовки бакалавров 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 110000 «Электроника, радиотехника и системы связи».