Книга Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
- Жанр: Техническая литература, Учебники и пособия для вузов, Физика, Практикумы
- Год издания: 2020
- ISBN: 978-5-7038-5369-6
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
