Книга Основы технологии электронной компонентной базы
- Жанр: Учебники и пособия для вузов
- ISBN: 978-5-9729-0846-2
- Издательство: Инфра-Инженерия
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Рекомендуем посмотреть
Сборник основных формул по химии для вузов
Социология. Учебник для вузов
Правоведение. Учебное пособие
Личность в условиях психической депривации. Учебное пособие
Макроэкономика
Психоанализ. Учебное пособие
Связи с общественностью: социально-психологические аспекты. Учебное пособие
Системы, методы и инструменты менеджмента качества. Учебное пособие