Книга Физические основы кремниевой наноэлектроники
- Серия: Нанотехнологии
- Жанр: Учебники и пособия для вузов, Физика, Электроника
- Год издания: 2020
- ISBN: 978-5-00101-830-8
- Издательство: Лаборатория знаний
- Возраст: 12+
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».