Книга Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники

  • Жанр: Электроника
  • Год издания: 2020
  • ISBN: 978-985-08-2521-6
  • Издательство: Издательский дом “Белорусская наука”
В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.