Книга Физические основы вакуумной техники
- Жанр: Учебники и пособия для вузов
- Год издания: 2014
- ISBN: 978-5-7782-2424-7
- Издательство: Новосибирский государственный технический университет
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.
Рекомендуем посмотреть
Сборник основных формул по химии для вузов
Социология. Учебник для вузов
Правоведение. Учебное пособие
Личность в условиях психической депривации. Учебное пособие
Макроэкономика
Психоанализ. Учебное пособие
Связи с общественностью: социально-психологические аспекты. Учебное пособие
Системы, методы и инструменты менеджмента качества. Учебное пособие