Книга Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
- Жанр: Электроника, Практикумы
- Год издания: 2007
- Издательство: МИСиС
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
Рекомендуем посмотреть
Орфография и пунктуация. Правила и практикум. Учебное пособие для подготовки к ЕГЭ по русскому языку
Increase Your English. Практикум
Практикум по объектно-ориентированному программированию
Практикум по общей и экспериментальной психологии
Процедуры и методы социологического исследования. Книга 1. Классическое социологическое исследование
Процедуры и методы социологического исследования. Книга 2. Классическое социологическое исследование
Основы стилистики и культуры речи
15 уроков по культуре речи. Практикум для учащихся