Книга Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов
 
                 
                
              - Жанр: Материаловедение, Практикумы
- Год издания: 2013
- Издательство: МИСиС
 В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы». 
 
     
     
     
     
     
     
    