Книга Математическое моделирование технологических процессов. Моделирование в среде MathCAD
- Жанр: Электроника, Практикумы
- Год издания: 2001
- Издательство: МИСиС
В практических работах рассматриваются процессы формирования функциональных слоев полупроводниковых приборов. Приводятся необходимые сведения по физическим основам процессов и методам математического моделирования этих процессов. Целью практикума является освоение студентами методов математического моделирования технологических процессов с использованием современных персональных компьютеров и математической системы MathCAD.