Книга Наноэлектроника
- Жанр: Учебники и пособия для вузов, Электроника
- Год издания: 2013
- Издательство: МИСиС
Рассмотрены физические и технологические основы наноэлектроники. Описаны подходы, позволяющие формировать элементы электронной техники в приборах и устройствах наноэлектроники. Проанализированы тенденции развития наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.