Книга Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
- Жанр: Учебно-методические пособия, Высокие технологии
- Год издания: 2015
- Издательство: МИСиС
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».