Книга Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
- Жанр: Материаловедение, Практикумы
- Год издания: 2007
- Издательство: МИСиС
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.