Книга Конструктивно-технологические основы микроэлектроники
- Жанр: Учебники и пособия для вузов, Приборостроение, Электроника
- Год издания: 2011
- Издательство: БИБКОМ
В учебном пособии представлены общие сведения о технологии интегральных микросхем, дана их классификация и кратко описаны основные технологические операции. Основное внимание уделено технологии полупроводниковых микросхем. Рассмотрены также операции изготовления гибридных интегральных микросхем.