Книга Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
- Жанр: Учебники и пособия для вузов, Приборостроение, Электроника
- Год издания: 2013
- ISBN: 978-5-7038-3729-0
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Рекомендуем посмотреть
Датчики: Справочное пособие
Оптико-волоконная мутнометрия технических сред и масел
Основы силовой электроники. Силовые полупроводниковые приборы
Анализ работы датчиков сил и линейных перемещений с последовательными LC-контурами
Гироскоп – это просто
Порошковые композиционные материалы для изделий электронной техники
Ртутно-электролитические капиллярные преобразователи