Книга Нанотехнологии и микромеханика. Часть 4. Зондовые нанотехнологии
- Жанр: Техническая литература, Учебники и пособия для вузов, Приборостроение, Электроника
- Год издания: 2007
- ISBN: 5-7038-2938-0
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Описаны физические явления, используемые в работе сканирующего туннельного микроскопа и атомного силового микроскопа. Рассмотрены физико-химические законы наиболее разработанных зондовых нанотехнологий. Для студентов и аспирантов специальностей «Технологии приборостроения», «Технологии электронных средств», «Нанотехнологии».