В. Ю. Васильев

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста. Учебное пособие для вузов

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем

Современное производство изделий микроэлектроники

Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем